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大理石測(cè)量平臺(tái)的測(cè)量方法簡(jiǎn)要

發(fā)表時(shí)間:2014年10月09日【

 大理石測(cè)量平臺(tái)的測(cè)量方法有三種

 
1.是借助精度為0.5m的電子水平儀,用位移法可檢測(cè)大理石平臺(tái)的直線度,用次方法可檢測(cè)大理石平臺(tái)的平面度,將檢測(cè)的結(jié)果經(jīng)過算法換算,可得到大理石平臺(tái)的直線度和平面度的具體數(shù)值;其特點(diǎn)是精度不太高,但測(cè)量數(shù)據(jù)可靠,無“0”點(diǎn)漂移問題,特別適合于在線測(cè)量與檢測(cè)精密大理石平臺(tái)。
 
2.測(cè)量精密大理石平臺(tái)直線度的方法可以通過精度為0.1m的電容測(cè)微儀用位移法測(cè)量,其表頭的示值即為精密大理石平臺(tái)的直線度的誤差值;在此測(cè)量中,由于電感測(cè)微儀自身的“0”點(diǎn)漂移較嚴(yán)重,需經(jīng)過長(zhǎng)達(dá)24h的穩(wěn)定后,其數(shù)值才可信,故使得精密大理石平臺(tái)加工與測(cè)量間的銜接時(shí)間增長(zhǎng)。
 
更高精度精密大理石平臺(tái)的加工必須有更高一級(jí)精度的檢測(cè)手段,目前常采用HP5528A或HP5529A動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀,它的顯示精度為1nm,可檢測(cè)平面度、垂直度、直線度、時(shí)基即振動(dòng)、角位移測(cè)量、對(duì)角測(cè)量等等。動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀的檢測(cè)精度特別高,但由于其復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)和復(fù)雜的調(diào)試程序,尤其是光具返回光束的光強(qiáng)和保證在80%以上,否則光束將被擋住,這對(duì)精密大理石平臺(tái)調(diào)試者來說

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